產(chǎn)品型號：
更新時間：2026-06-02
廠商性質：代理商
訪 問 量 ：77
028-68749778
產(chǎn)品分類
| 品牌 | ACCRETECH/東京精密 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 綜合 |
日本ACCRETECH東京精密半導體設備AL3000
日本ACCRETECH東京精密半導體設備AL3000
獨自的激光引擎機構實現(xiàn)了高質量加工和高吞吐量的兼顧
傳統(tǒng)的激光切割工藝中，高質量加工和高吞吐量難以兼顧，存在權衡關系。
通過我公司獨特的激光引擎機構+高剛性平臺的組合，
提供了高品質和高吞吐量的激光切割工藝。
直徑300毫米晶圓專用 全自動激光切割機
從水溶性保護膜涂布到激光切割、清洗等整個流程自動對應。
激光切割工藝
適用于低k切割、街道上的TEG去除的光學設計。
通過熱加工變形和損傷最小化，形成穩(wěn)定的加工槽。
操作性
采用17英寸觸摸屏+GUI（圖形用戶界面）。
只需觸摸圖標化的按鈕，即可實現(xiàn)簡單操作和舒適操作。
搭載與AD/SS系列相同的操作體系，方便使用。
規(guī)格
| 裝置名 | AL3000 | |
| 加工方式 | 消融 | |
| 激光發(fā)生器 | 半導體激光激勵 Q開關固體激光 | |
| 波長 | 355 納米 | |
| 最大工作尺寸 | 直徑 305 毫米 | |
| 加工可能范圍 | 310 毫米 x 310 毫米 | |
| X 軸 | 最高速度 | 1,000 毫米/秒 |
| Y 軸 | 最高速度 | 300 毫米/秒 |
| 控制分解能 | 0.078 微米 | |
| Z 軸 | Z 軸最高速度 | 10 毫米/秒 |
| Z軸重復精度 | 1.0 微米 | |
| θ軸 | θ軸 最大旋轉角度 | 380.0 度 |
| 電壓 | (V)三相AC200 ～ 220V ± 10％ 50/60Hz 以上條件下需要變壓器 |
| 消耗電力 | 2.0 kVA（參考值） |
| 空氣供應壓力 | 0.5 ～ 0.7 兆帕 |
| 空氣平均消費量 | 400 升/分鐘 |
| N2 供給壓力 | 0.3 ～ 0.5 兆帕 |
| N2 平均消費量 | 30 升/分鐘 |
| 純水供應壓力 | 0.3 ～ 0.5 兆帕 |
| 純水最大消費流量 | 6.0 升/分鐘 |
| 排氣量 | 4.0 以上 米3/分鐘 |
| 裝置外形尺寸 WxDxH | 1,645 毫米 x 1,680 毫米 x 1,800 毫米 |
| 裝置重量 | 2,500 公斤 |
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