日本OSAKA大阪滾珠軸承型渦輪分子泵TG70F

日本OSAKA大阪滾珠軸承型渦輪分子泵TG70F

TG70F是日本OSAKA大阪真空株式會社推出的一款高效、輕巧且耐用的滾珠軸承型渦輪分子泵，專為高真空環境設計。該泵采用油脂潤滑滾珠軸承系統，結構緊湊，重量輕（ISO-R法蘭型僅3kg，CF法蘭型5kg），便于安裝和移動。其核心優勢在于的抗沖擊性能，可承受超過400次大氣沖擊，適用于安裝在移動設備或運動部件上，如排氣車、腔室門等，即使在泵運行時也可移動，甚至能在地震等環境下穩定重啟。

TG70F具備出色的抽氣能力，排氣速度達70L/s（ISO-R法蘭）或75L/s（CF法蘭），附加金屬保護網時分別為65L/s和70L/s。H?排氣速度為40L/s（ISO-R法蘭）或45L/s（CF法蘭），最大壓縮比N?為1×10?，H?為1×10?，極限壓力低于5×10?? Pa（ISO-R法蘭）或1×10?? Pa（CF法蘭），滿足超高真空需求。其啟動時間僅需2-2.5分鐘，停止時間20-25分鐘，支持快速工藝切換，提升生產效率。

TG70F還注重節能與環保，支持自然風冷與強制風冷模式，允許環境溫度范圍8-38℃，適應不同工作環境。此外，該泵符合NRTL/SEMI-S2/CE安全標準，集成RS232C串行通信接口，支持遠程監控與數據傳輸，便于系統集成與管理。

TG70F廣泛應用于半導體制造、電子槍排氣、離子源排氣、FPD制造、表面處理、表面改性、各種電子部件的制造、分析試驗裝置、管材制造、光學部件制造、加速器、輻射設施及核聚變研究等領域。其小巧尺寸與自由安裝設計，使其成為實驗室、生產線及移動設備的理想選擇。