日本OSAKA大阪滾珠軸承型渦輪分子泵TG60F

日本OSAKA大阪滾珠軸承型渦輪分子泵TG60F

TG60F是日本OSAKA大阪真空株式會社推出的一款高效、輕巧且耐用的滾珠軸承型渦輪分子泵，專為高真空環境設計。該泵采用油脂潤滑滾珠軸承系統，結構緊湊，重量輕（ISO-R法蘭型僅3.4kg，CF法蘭型5.4kg），便于安裝和移動。其核心優勢在于的抗沖擊性能，可承受超過400次大氣沖擊，適用于安裝在移動設備或運動部件上，如排氣車、腔室門等，即使在泵運行時也可移動，甚至能在地震等環境下穩定重啟。

TG60F具備出色的抽氣能力，排氣速度達60L/s（N?），附加金屬保護網時為55L/s，H?排氣速度為22L/s。最大壓縮比N?為2×10?，H?為3×103，極限壓力低于5×10?? Pa（ISO-R法蘭）或1×10?? Pa（CF法蘭），滿足超高真空需求。其啟動時間僅需1.5-2分鐘，停止時間15-25分鐘，支持快速工藝切換，提升生產效率。同時，該泵兼容多種氣體排放，包括惰性氣體，但排放腐蝕性氣體時需選用TG-M或TG系列耐腐蝕型號。

TG60F還注重節能與環保，支持風冷模式，允許環境溫度范圍10-38℃，適應不同工作環境。此外，該泵符合NRTL/SEMI-S2/CE安全標準，集成RS232C串行通信接口，支持遠程監控與數據傳輸，便于系統集成與管理。

TG60F廣泛應用于半導體制造、電子槍排氣、離子源排氣、FPD制造、表面處理、分析檢測設備、管材制造、光學元件制造、加速器、輻射設施及核聚變研究等領域。其小巧尺寸與自由安裝設計，使其成為實驗室、生產線及移動設備的理想選擇。