產(chǎn)品型號:
更新時間:2026-05-08
廠商性質(zhì):代理商
訪 問 量 :69
028-68749778
產(chǎn)品分類
| 品牌 | OSAKA/大阪真空 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 儀器種類 | 分子泵 | 產(chǎn)品類型 | 有油泵 |
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
日本OSAKA大阪滾珠軸承型渦輪分子泵TG1100F

日本OSAKA大阪滾珠軸承型渦輪分子泵TG1100F
日本OSAKA大阪真空株式會社推出的TG1100F滾珠軸承型渦輪分子泵,是一款專為高真空環(huán)境設(shè)計的高效、輕巧且耐用的設(shè)備。該泵采用油脂潤滑滾珠軸承系統(tǒng),結(jié)構(gòu)緊湊,重量輕(VG/ISO-B法蘭型27kg,CF法蘭型28kg),顯著降低了設(shè)備整體負擔。其核心優(yōu)勢在于的抗沖擊性能,可承受超過400次大氣沖擊,適用于安裝在移動設(shè)備或運動部件上,如排氣車、腔室門等,即使在泵運行時也可移動,甚至能在地震等環(huán)境下穩(wěn)定重啟。
在性能方面,TG1100F具備出色的抽氣能力,排氣速度達1100L/s(N?),附加金屬保護網(wǎng)時為1000L/s,H?排氣速度為720L/s。最大壓縮比N?為1×10?,H?為1×10?,極限壓力低于1×10?? Pa,滿足超高真空需求。其啟動時間僅需7-9分鐘(不同電源型號有所差異),停止時間27-32分鐘,支持快速工藝切換,提升生產(chǎn)效率。同時,該泵兼容多種氣體排放,包括惰性氣體,但排放腐蝕性氣體時需選用TG-M或TG系列耐腐蝕型號。
TG1100F還注重節(jié)能與環(huán)保,支持風冷與水冷兩種模式,空冷環(huán)境下允許溫度范圍10-32℃,水冷環(huán)境下擴展至10-40℃,適應(yīng)不同工作環(huán)境。此外,該泵符合NRTL/SEMI-S2/CE安全標準,集成RS232C串行通信接口,支持遠程監(jiān)控與數(shù)據(jù)傳輸,便于系統(tǒng)集成與管理。
TG1100F廣泛應(yīng)用于半導體制造、電子槍排氣、離子源排氣、FPD制造、表面處理、分析試驗裝置、光學部件制造、加速器、放射線設(shè)施及核聚變研究等領(lǐng)域,其小巧尺寸與自由安裝設(shè)計,使其成為實驗室、生產(chǎn)線及移動設(shè)備的理想選擇。
| 型號 ※3 | TG1100F□AB / TG1100F□WB | TG1100F□AB-60 / TG1100F□WB | |
|---|---|---|---|
| 吸氣口 | VG200 / ISO-B200 / CF200 | ||
| 排氣口 | KF40 | KF40 | |
| 排氣速度 | N? (L/s) | 1100 | |
| N? (附加金屬保護網(wǎng)) (L/s) | 1000 | ||
| H? (L/s) | 720 | ||
| 最大壓縮比 | N? | 1×10? | |
| H? | 1×10? | ||
| 極限壓力 | Pa | <1×10?? | |
| Torr | <7.5×10?? | ||
| 最大氣體流量 ※1 ※2 | N? (sccm) | 330 | 860 |
| 啟動時間 ※2 | min | 7~9 | 5.5~7 |
| 停止時間 ※2 | min | 27~32 | 12~15 |
| 允許輔助壓力 | Pa | 330 | |
| Torr | 2.5 | ||
| 推薦輔助泵 | L/min | ≧250 | |
| 安裝角度 | 任意 | ||
| 重量 | kg | 27 (VG?ISO-B) / 28 (CF) | |
| 控制器型號 | TC1104A | TC1103 | |
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