日本OSAKA大阪滾珠軸承型渦輪分子泵TG800F

日本OSAKA大阪滾珠軸承型渦輪分子泵TG800F

日本OSAKA大阪真空株式會(huì)社推出的TG800F滾珠軸承型渦輪分子泵，是一款集高效抽氣、輕巧設(shè)計(jì)、節(jié)能環(huán)保與高抗沖擊性于一體的真空設(shè)備，專為高真空環(huán)境需求設(shè)計(jì)。

TG800F采用油脂潤(rùn)滑滾珠軸承系統(tǒng)，結(jié)構(gòu)緊湊，重量輕（VG/ISO-B法蘭型26kg，CF法蘭型27kg），顯著降低了設(shè)備整體負(fù)擔(dān)。其核心優(yōu)勢(shì)在于的抗沖擊性能，可承受超過(guò)400次大氣沖擊，適用于安裝在移動(dòng)設(shè)備或運(yùn)動(dòng)部件上，如排氣車、腔室門等，即使在泵運(yùn)行時(shí)也可移動(dòng)，甚至能在地震等環(huán)境下穩(wěn)定重啟。

在性能方面，TG800F具備出色的抽氣能力，排氣速度達(dá)820L/s（N?），附加金屬保護(hù)網(wǎng)時(shí)為750L/s，H?排氣速度為650L/s。最大壓縮比N?為1×10?，H?為1×10?，極限壓力低于1×10?? Pa，滿足超高真空需求。其啟動(dòng)時(shí)間僅需7-9分鐘（不同電源型號(hào)有所差異），停止時(shí)間12-32分鐘，支持快速工藝切換，提升生產(chǎn)效率。同時(shí)，該泵兼容多種氣體排放，包括惰性氣體，但排放腐蝕性氣體時(shí)需選用TG-M或TG系列耐腐蝕型號(hào)。

TG800F還注重節(jié)能與環(huán)保，支持風(fēng)冷與水冷兩種模式，空冷環(huán)境下允許溫度范圍10-32℃，水冷環(huán)境下擴(kuò)展至10-40℃，適應(yīng)不同工作環(huán)境。此外，該泵符合NRTL/SEMI-S2/CE安全標(biāo)準(zhǔn)，集成RS232C串行通信接口，支持遠(yuǎn)程監(jiān)控與數(shù)據(jù)傳輸，便于系統(tǒng)集成與管理。

TG800F廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、電子槍排氣、離子源排氣、FPD制造、表面處理、分析試驗(yàn)裝置、光學(xué)部件制造及核聚變研究等領(lǐng)域，其小巧尺寸與自由安裝設(shè)計(jì)，使其成為實(shí)驗(yàn)室、生產(chǎn)線及移動(dòng)設(shè)備的理想選擇。