日本OSAKA大阪滾珠軸承型渦輪分子泵TG50F

日本OSAKA大阪滾珠軸承型渦輪分子泵TG50F

日本OSAKA大阪真空株式會社推出的TG50F滾珠軸承型渦輪分子泵，是一款專為高真空環境設計的緊湊型設備，其核心優勢在于小型化、輕量化與低成本，同時具備出色的抗沖擊性能和靈活的安裝適應性。

?結構設計?
TG50F采用油脂潤滑滾珠軸承系統，通過精密動平衡技術確保轉子在超音速（300-600m/s）運轉時的穩定性。其核心部件包括多層動葉片與靜葉片組合，葉片傾角設計使氣體分子在分子流區域內高效定向傳輸，同時通過螺紋槽結構擴展至中間流區域抽氣，顯著提升泵的流量范圍（50-2400 L/s）。這種復合式設計使TG50F既能滿足超高真空需求（極限壓力<1×10?? Pa），又可在高背壓環境下穩定運行，兼容性更強。

?性能特點?

1. ?抗沖擊與便攜性?：油脂潤滑軸承系統賦予TG50F的抗外部震動能力，可承受超過300,000次大氣沖擊，適合安裝在移動設備或運動部件上，拓展了渦輪分子泵在便攜式檢測、現場維修等領域的應用。

2. ?快速響應與節能?：啟動時間僅需2-2.5分鐘，停機時間5-6.5分鐘，支持快速工藝切換；風冷型允許環境溫度10-32℃，水冷型擴展至10-40℃，配合低功耗設計，較傳統擴散泵節能50%以上。

3. ?安全與兼容性?：符合NRTL/SEMI-S2/CE安全標準，集成串行通信接口（RS232C），支持遠程監控與數據傳輸；但需注意，若排放腐蝕性氣體，需選用化學兼容型TG-M或TG系列。

?應用場景?
TG50F廣泛應用于半導體制造、電子槍排氣、FPD（平板顯示）制造、表面改性、分析檢測設備等領域，其小巧尺寸（重量約6-9kg）與自由安裝設計，使其成為實驗室、生產線及移動設備的理想選擇。例如，在半導體蝕刻工藝中，TG50F可快速建立真空環境，保障工藝穩定性；在光學元件生產中，其無油設計避免了碳氫化合物污染，確保產品潔凈度。