日本OSAKA大阪小型螺桿干式真空泵FR060D

日本OSAKA大阪小型螺桿干式真空泵FR060D

日本OSAKA大阪真空機器制作所推出的FR060D是一款風冷型多級螺桿干式真空泵，專為需要無油潔凈排氣且需處理水蒸氣的工況設計，廣泛應用于半導體制造、分析儀器、真空鍍膜、負載鎖室及小型實驗設備等領域。

FR060D采用多級螺桿轉子結構，通過純風冷設計實現大氣壓下直接連續運行，無需外接冷卻水，大幅簡化了安裝與運維流程。其核心優勢在于實現了真正的無油真空環境，真空側無油設計杜絕了油蒸氣或顆粒逆流至真空腔室，確保了排氣的潔凈度，滿足ISO 1級潔凈室標準，尤其適配分子泵前級泵等對污染敏感的場景。

性能方面，FR060D表現。其最大排氣速度達1000 L/min，開放氣鎮模式下仍能保持800 L/min的排氣速度；極限壓力低至1.0 Pa（無氣鎮），開啟氣鎮功能后為2.0 Pa，有效防止水蒸氣凝結。該泵具備500 g/hr的水蒸氣處理能力，可連續吸入水蒸氣，適合帶水汽或溶劑的工藝，如干燥、清洗及鍍膜等。此外，FR060D從大氣壓到極限真空全程保持高抽速，排氣時間較同流量旋片泵縮短30%以上，適合頻繁破真空及快速循環工況。

FR060D設計緊湊，重量僅75公斤，便于搬運與安裝。其多級羅茨結構經動平衡優化，振動小、噪音低，且無油污染、磨損小，維護周期長達6000小時以上，僅需定期更換少量軸承潤滑油（90ml）。該泵符合CE、SEMI、NRTL等國際標準，支持單相/三相200-240V電源，環境溫度適應范圍5-40℃，展現了環境適應性。