日本OSAKA大阪渦輪分子泵TGkineMI-B系列

日本OSAKA大阪渦輪分子泵TGkineMI-B系列

TGkineMI-B系列是日本OSAKA大阪真空公司推出的一款反應生成物對應型磁懸浮渦輪分子泵，專為半導體、FPD（平板顯示器）、MEMS制造等蝕刻設備以及易生成反應生成物并在高溫下易揮發的設備設計。

該系列泵采用優良的磁懸浮軸承技術，通過磁力使轉子懸浮，實現非接觸支撐結構，從而不使用潤滑油，達到無油的狀態。這一設計不僅消除了機械接觸，減少了磨損和振動，還延長了泵的使用壽命，降低了維護成本。同時，磁懸浮軸承的應用還使得泵體可以在任意角度安裝，適應各種復雜的工作環境。

TGkineMI-B系列泵具有出色的排氣性能，針對內部容易出現反應生成物的設備，該系列泵采用了獨特的絕熱結構和自加熱機制，有效降低了反應生成物的堆積與固化，充分延長了分子泵的壽命與維護周期。此外，該系列泵還通過使用外部加熱器實現升溫，同時利用在泵內部產生的氣體的摩擦熱，來使接觸氣體部位高效率地升溫，從而減小了外部加熱器的輸出功率，達到了節能的效果。

在規格方面，TGkineMI-B系列泵提供了多種型號選擇，如TGkine2200MI-B、TGkine3300MI-B、TGkine3400MI-B等，以滿足不同客戶的需求。這些泵具有不同的吸氣口規格、排氣速度和最大壓縮比等參數，可根據具體應用場景進行選擇。

此外，TGkineMI-B系列泵還實現了控制器和電源的一體化設計，不需要輸出電纜和控制器機架，減少了設備的占地面積。同時，該系列泵還支持多種通信接口，便于與各種控制系統進行集成，實現遠程監控和自動化操作。