產品型號:
更新時間:2026-05-08
廠商性質:代理商
訪 問 量 :68
028-68749778
產品分類
| 品牌 | OSAKA/大阪真空 | 價格區間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 儀器種類 | 分子泵 | 產品類型 | 有油泵 |
| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 綜合 |
日本OSAKA大阪磁懸浮軸承渦輪分子泵TG1307M

日本OSAKA大阪磁懸浮軸承渦輪分子泵TG1307M
TG1307M是日本OSAKA大阪真空公司推出的一款高性能磁懸浮軸承渦輪分子泵,專為半導體制造、FPD(平板顯示器)制造、太陽能電池制造以及光學元件加工等需要超高真空環境的領域設計。
該泵采用優良的磁懸浮軸承技術,通過磁力使轉子懸浮,實現非接觸支撐結構,從而不使用潤滑油,達到無油的狀態。這一設計不僅消除了機械接觸,減少了磨損和振動,還延長了泵的使用壽命,降低了維護成本。同時,磁懸浮軸承的應用還使得泵體可以在任意角度安裝,適應各種復雜的工作環境。
TG1307M具有出色的排氣性能,其抽速可達較高水平,能夠滿足大流量氣體排放的需求。同時,該泵還具備高壓縮比,可形成穩定的超高真空環境,極限壓力低,確保了真空系統的純凈度。此外,TG1307M還采用了省電設計,能夠在保證高抽速的同時,有效降低能耗,為企業節省運營成本。
在智能化方面,TG1307M也表現出色。該泵支持多種通信接口,便于與各種控制系統進行集成,實現遠程監控和自動化操作。同時,該泵還具備數據存儲功能,運行數據、觸地計數、型號信息等可以存儲在主機中。即使在大修期間更換控制器,也可以傳輸數據,方便用戶進行設備管理和維護。
TG1307M還符合CE、NRTL、SEMI-S2等國際安全標準,確保了產品在全球范圍內的通用性和安全性。其應用領域廣泛,包括半導體制造、電子槍排氣、離子源排氣、FPD制造、表面處理、表面改性、制造各種電子元件、分析和測試設備、管材制造、光學元件制造等。
| 型號 ※1 | TG1307M | |
|---|---|---|
| 吸氣口 | VG200/ISO-B200/CF200 | |
| 排氣口 | KF40 | |
| 排氣速度 | N? (L/s) | 1300 |
| N? (附加金屬保護網) (L/s) | 1230 | |
| H? (L/s) | 1200 | |
| 最大壓縮比 | N? | 1×10? |
| H? | 1.5×10? | |
| 極限壓力 ※4 | Pa | <1×10?? (VG?ISO-B) / <1×10?? (CF) |
| Torr | <7.5×10?? (VG?ISO-B) / <7.5×10?1? (CF) | |
| 最大氣體流量 ※2 ※3 | N? (sccm) | 3000 |
| Ar (sccm) | 1500 | |
| 啟動時間 | min | ≦5 |
| 停止時間 | min | ≦5 |
| 允許輔助壓力 | Pa | 500 |
| Torr | 3.8 | |
| 推薦輔助泵 | L/min | ≧250 |
| 安裝角度 | 任意 | |
| 重量 | kg | 37 (VG?ISO-B) / 45 (CF?耐腐蝕性) |
| 控制器型號 | TC0311M | |