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日本OTSUKA大塚顯微分光膜厚計(jì)OPTM系列 OPTM(オプティム)是利用顯微分光進(jìn)行微小區(qū)域絕對(duì)反射率測量的裝置，能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的膜厚和光學(xué)常數(shù)解析。 可以非破壞性、非接觸性地測量各種薄膜、晶圓、光學(xué)材料等的涂層膜厚度或多層膜。測量時(shí)間可以達(dá)到每點(diǎn)1秒的高速測量。此外，還配備了即使初次使用也能輕松進(jìn)行光學(xué)常數(shù)解析的軟件。