日本OSAKA大阪滾珠軸承型渦輪分子泵TS50

日本OSAKA大阪滾珠軸承型渦輪分子泵TS50

TS50是日本OSAKA大阪真空株式會社推出的一款高效、緊湊且耐用的滾珠軸承型渦輪分子泵，專為高真空環境設計。該泵采用油脂潤滑滾珠軸承系統，結構緊湊，重量輕（僅11kg），便于安裝和移動。其核心優勢在于的抗沖擊性能，可承受超過300,000次大氣沖擊，適用于安裝在移動設備或運動部件上，如排氣車、腔室門等，即使在泵運行時也可移動，甚至能在地震等環境下穩定重啟。

TS50具備出色的抽氣能力，進氣法蘭有VG100、CF100、ISO-R100系列可選，抽速N?為25L/s，帶保護網時為23L/s，H?抽速為13L/s。最大壓縮比N?為2×10?，H?為50，極限壓力低于7.5×10?? Torr（或1×10?? Pa），滿足高真空需求。其啟動時間僅需2.5-3.5分鐘，停機時間2.5-5分鐘，支持快速工藝切換，提升生產效率。

該泵還注重節能與環保，支持風冷模式，允許環境溫度范圍10-32℃，適應不同工作環境。此外，TS50符合NRTL/SEMI-S2安全標準，集成RS232C通信接口，支持遠程監控與數據傳輸，便于系統集成與管理。

TS50廣泛應用于半導體制造、電子槍排氣、離子源排氣、FPD制造、表面處理、分析檢測設備、管材制造、光學元件制造、加速器、輻射設施及核聚變研究等領域。其小巧尺寸與自由安裝設計，使其成為實驗室、生產線及移動設備的理想選擇。同時，該泵還提供耐腐蝕氣體型分子泵，滿足特殊工藝需求。