日本OSAKA大阪小型螺桿干式真空泵DSP501

日本OSAKA大阪小型螺桿干式真空泵DSP501

日本OSAKA大阪真空的DSP501是一款小型螺桿干式真空泵，專為需要無油、潔凈真空環境的精密應用設計。該泵采用優良的螺桿轉子結構，通過機械壓縮實現氣體排出，避免了油蒸氣或顆粒逆流至真空腔室，確保了排氣的潔凈度，滿足ISO 1級潔凈室標準，尤其適用于半導體制造、光刻、分析儀器、醫療設備及加速器等對污染敏感的場景。

DSP501具備的性能參數：無氣鎮模式下排氣速度達500 L/min，極限壓力低至0.5 Pa；開啟氣鎮功能后，仍能保持430 L/min的排氣速度，極限壓力為2 Pa，有效防止水蒸氣凝結，適應含濕氣工藝。其內置旁通系統使大氣壓附近的排氣速度顯著提升，大幅縮短抽氣時間。泵體采用風冷設計，僅需電力供應，無需冷卻水，簡化了安裝與維護流程。

在設計與維護方面，DSP501優勢顯著。轉子組件省略同步齒輪，配合隔音罩設計，運行噪音低于65分貝，同時螺桿型轉子結構有效抑制排氣脈沖，確保低震動運行。該泵免維護特性突出，無需更換潤滑油或軸封，維護成本僅為傳統油泵的1/3，且終身免更換真空泵油，降低了長期運行成本。此外，DSP501符合CE、SEMI、NRTL等國際標準，支持PLC控制系統集成，可實現遠程監控與故障診斷，具備數據記錄和分析功能，提升了使用的靈活性與智能化水平。

DSP501憑借其便攜性、潔凈排氣、高效節能及低維護成本等優勢，成為精密真空應用領域的理想選擇，廣泛應用于PVD設備排氣、分子泵前級泵及工業場景中的吸附搬送、封裝排氣等，為高要求工藝提供了可靠保障。