日本OSAKA大阪真空渦輪分子泵TG420M

日本OSAKA大阪真空渦輪分子泵TG420M

TG420M是日本OSAKA大阪真空公司推出的一款高性能磁懸浮軸承型渦輪分子泵，專為半導體制造、FPD（平板顯示器）制造、太陽能電池制造以及光學元件加工等需要超高真空環(huán)境的領(lǐng)域設(shè)計。

該泵采用優(yōu)良的磁懸浮軸承技術(shù)，實現(xiàn)了無油排氣，消除了機械接觸，減少了磨損和振動，延長了泵的使用壽命，同時降低了維護成本。磁懸浮軸承的應用還使得泵體可以在任意角度安裝，適應各種復雜的工作環(huán)境。

TG420M具有出色的排氣性能，其抽速可達400L/s（N?標稱抽速），加裝金屬保護網(wǎng)后有效抽速仍可達370L/s，能夠滿足大流量氣體排放的需求。同時，該泵還具備高壓縮比，N?的最大壓縮比超過1×10?，H?的最大壓縮比為4.5×103，可形成穩(wěn)定的超高真空環(huán)境，極限壓力低于1×10?? Pa（VG?ISO-B接口）/低于1×10?? Pa（CF接口）。

此外，TG420M還具備省電設(shè)計，能夠在保證高抽速的同時，有效降低能耗，為企業(yè)節(jié)省運營成本。該泵還支持多種通信接口，便于與各種控制系統(tǒng)進行集成，實現(xiàn)遠程監(jiān)控和自動化操作。同時，該泵符合CE、NRTL、SEMI-S2等國際安全標準，確保了產(chǎn)品在全球范圍內(nèi)的通用性和安全性。

TG420M還具備低振動、無需調(diào)整、自動校準、可控制轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)速度等優(yōu)點，為用戶提供了更加便捷、穩(wěn)定的使用體驗。此外，該泵還附帶維護警報機能，方便用戶及時進行設(shè)備維護和保養(yǎng)。