日本OSAKA大阪真空渦輪分子泵TGkine3400M-R

日本OSAKA大阪真空渦輪分子泵TGkine3400M-R

TGkine3400M-R是日本OSAKA大阪真空公司推出的一款高性能磁懸浮軸承型渦輪分子泵，專為半導(dǎo)體制造、FPD（平板顯示器）制造、太陽能電池制造以及光學(xué)元件加工等需要超高真空環(huán)境的領(lǐng)域設(shè)計(jì)。

該泵采用優(yōu)良的磁懸浮軸承技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了無油排氣，消除了機(jī)械接觸，減少了磨損和振動(dòng)，延長了泵的使用壽命，同時(shí)降低了維護(hù)成本。磁懸浮軸承的應(yīng)用還使得泵體可以在任意角度安裝，適應(yīng)各種復(fù)雜的工作環(huán)境。

TGkine3400M-R集成了電源控制器與分子泵的一體化設(shè)計(jì)，省去了輸出電纜和控制器機(jī)架，顯著減少了設(shè)備的占地面積，簡化了系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，提高了整體可靠性。在性能方面，該泵具有出色的排氣性能，其抽速可達(dá)3400 L/s（N?標(biāo)稱抽速），加裝金屬保護(hù)網(wǎng)后有效抽速仍可達(dá)3200 L/s以上，能夠滿足大流量氣體排放的需求。同時(shí)，該泵還具備高壓縮比，N?的最大壓縮比超過2×10?，H?的最大壓縮比為2×103，可形成穩(wěn)定的超高真空環(huán)境，極限壓力低于5×10?? Pa。

此外，TGkine3400M-R還具備省電設(shè)計(jì)，能夠在保證高抽速的同時(shí)，有效降低能耗，為企業(yè)節(jié)省運(yùn)營成本。該泵還支持多種通信接口，便于與各種控制系統(tǒng)進(jìn)行集成，實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控和自動(dòng)化操作。同時(shí)，該泵符合CE、NRTL、SEMI-S2等國際安全標(biāo)準(zhǔn)，確保了產(chǎn)品在全球范圍內(nèi)的通用性和安全性。其內(nèi)置的記憶功能可以存儲(chǔ)運(yùn)行數(shù)據(jù)和安全軸承的觸地計(jì)數(shù)等，即使在大修期間更換控制器，也可以傳輸所有數(shù)據(jù)，方便用戶進(jìn)行設(shè)備管理和維護(hù)。