日本OSAKA大阪真空渦輪分子泵TGkine3300M-B

日本OSAKA大阪真空渦輪分子泵TGkine3300M-B

TGkine3300M-B是日本OSAKA大阪真空公司推出的一款高性能磁懸浮軸承型渦輪分子泵，專為半導(dǎo)體制造、FPD（平板顯示器）制造、太陽(yáng)能電池制造以及光學(xué)元件加工等需要超高真空環(huán)境的領(lǐng)域設(shè)計(jì)。

該泵集成了電源控制器與分子泵的一體化設(shè)計(jì)，省去了輸出電纜和控制器機(jī)架，顯著減少了設(shè)備的占地面積，簡(jiǎn)化了系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，提高了整體可靠性。磁懸浮軸承技術(shù)的應(yīng)用，實(shí)現(xiàn)了無(wú)油排氣，消除了機(jī)械接觸，減少了磨損和振動(dòng)，延長(zhǎng)了泵的使用壽命，同時(shí)降低了維護(hù)成本。

TGkine3300M-B具有出色的排氣性能，其排氣速度在N?（氮?dú)猓┫驴蛇_(dá)3300 L/s，在H?（氫氣）下為2700 L/s，能夠滿足大流量氣體排放的需求。同時(shí)，該泵還具備高壓縮比，N?的最大壓縮比超過(guò)1×10?，H?的最大壓縮比為3×103，可形成穩(wěn)定的超高真空環(huán)境。其極限壓力低于2×10?? Pa，進(jìn)一步確保了真空系統(tǒng)的純凈度。

在節(jié)能方面，TGkine3300M-B采用了省電設(shè)計(jì)，有效降低了能耗，為企業(yè)節(jié)省了運(yùn)營(yíng)成本。此外，該泵還具備輕巧設(shè)計(jì)，便于搬運(yùn)和安裝，適應(yīng)各種空間受限的工作環(huán)境。其防護(hù)等級(jí)達(dá)到IP54，能夠有效抵御灰塵和水的侵入，確保在惡劣環(huán)境下的穩(wěn)定運(yùn)行。

TGkine3300M-B還支持多種通信接口，便于與各種控制系統(tǒng)進(jìn)行集成，實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控和自動(dòng)化操作。同時(shí)，該泵符合CE、NRTL、SEMI-S2等國(guó)際安全標(biāo)準(zhǔn)，確保了產(chǎn)品在全球范圍內(nèi)的通用性和安全性。