美國KLA科磊Alpha-Step®D-500 探針式輪廓儀

美國KLA科磊Alpha-Step®D-500 探針式輪廓儀

美國KLA科磊Alpha-Step® D-500探針式輪廓儀是一款高精度的表面形貌測量設(shè)備，專為臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D測量而設(shè)計(jì)。以下是對該產(chǎn)品的詳細(xì)簡介：

核心技術(shù)

Alpha-Step® D-500采用創(chuàng)新的光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)，提供高垂直分辨率、長程垂直測量范圍和微力控制測量能力。這種技術(shù)使得設(shè)備能夠精確測量從幾納米到1200微米的臺階高度，同時(shí)支持低觸力測量，觸力范圍可調(diào)節(jié)至0.03至15毫克，適用于多種軟硬材料的精確測量。

主要功能

1. ?臺階高度測量?：能夠量化蝕刻、濺射、沉積、旋涂、CMP等工藝中沉積或去除的材料量。

2. ?粗糙度與波紋度測量?：通過軟件過濾功能，將測量值分離為粗糙度和波紋度部分，并計(jì)算均方根（RMS）粗糙度等參數(shù)。

3. ?翹曲度與形狀測量?：可測量表面的2D形狀或翹曲，包括晶圓翹曲和透鏡等結(jié)構(gòu)的高度和曲率半徑。

4. ?應(yīng)力測量?：通過測量薄膜沉積等工藝導(dǎo)致的晶圓表面形貌變化，并應(yīng)用Stoney方程計(jì)算應(yīng)力。

設(shè)備特點(diǎn)

• ?高分辨率?：垂直分辨率可達(dá)亞埃級別，確保測量數(shù)據(jù)的精確性。

• ?大測量范圍?：支持從納米級到毫米級的臺階高度測量。

• ?用戶友好?：配備500萬像素高分辨率彩色攝像頭和用戶友好的軟件界面，便于操作和數(shù)據(jù)解析。

• ?緊湊設(shè)計(jì)?：體積小巧，適合實(shí)驗(yàn)室和生產(chǎn)線等空間有限的環(huán)境。

應(yīng)用領(lǐng)域

Alpha-Step® D-500廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、LED、太陽能、MEMS、汽車和醫(yī)療設(shè)備等多個(gè)行業(yè)，是高校、研究機(jī)構(gòu)和實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行表面形貌分析的重要工具。