日本KOSAKA小坂微細穴三次元測定機FP3030

日本KOSAKA小坂微細穴三次元測定機FP3030是日本KOSAKA小坂研究所針對微細深孔測量難題研發(fā)的高精度接觸式測量儀，融合了產(chǎn)學(xué)研合作成果，為半導(dǎo)體、汽車、精密機械等行業(yè)提供了可靠的解決方案。該設(shè)備采用高彈性光纖維測針，結(jié)合激光、三棱鏡與光電二極管構(gòu)成的傳感測量裝置，能夠以微小的測定力（10μN~500μN）測量直徑最小10μm、最大300μm的深孔內(nèi)部形狀，垂直分辨率達10nm，重復(fù)精度在20nm以下（以孔徑80μm為例），滿足微米/納米級精度需求。

FP3030的核心優(yōu)勢在于其突破傳統(tǒng)測量的技術(shù)瓶頸。面對極小寬深比的深孔，傳統(tǒng)接觸式測量因測針直徑過粗或針尖角度過大，難以深入測量側(cè)壁粗糙度；非接觸式光學(xué)測量則受限于光的干涉、對焦困難及數(shù)據(jù)點不足。FP3030通過質(zhì)輕纖細的光纖維測針，以圓周型軌跡接觸深孔側(cè)壁采集數(shù)據(jù)，光電二極管受光量隨測針位置變化，從而精準測量內(nèi)徑、外徑、深度、側(cè)壁形狀等參數(shù)。其測量軟件支持真圓度、圓柱度、直徑、臺階、槽寬、直角度、粗糙度等多種參數(shù)解析，功能全面。

FP3030已廣泛應(yīng)用于多個領(lǐng)域：半導(dǎo)體封裝TSV（硅通孔技術(shù)）的側(cè)壁粗糙度測量（孔徑10μm，深度100-500μm）、汽車燃料噴嘴口形狀測量（孔徑10-100μm）、打印機油墨噴嘴口內(nèi)部形狀測量（孔徑數(shù)十微米）、紡織機械線嘴內(nèi)部形狀測量（孔徑10-100μm）等。其高精度、高重復(fù)性及非破壞性測量特點，使其成為質(zhì)量控制與研發(fā)分析的理想工具，既能滿足車間環(huán)境中的快速幾何測量需求，也可勝任實驗室對高精度測量的嚴苛要求。