日本KOSAKA小坂微細(xì)形狀測(cè)定機(jī) NT1520

日本KOSAKA小坂微細(xì)形狀測(cè)定機(jī) NT1520是日本小坂研究所最新推出的直動(dòng)式晶圓臺(tái)階測(cè)量?jī)x，專為半導(dǎo)體前工序及*封裝領(lǐng)域設(shè)計(jì)，以納米級(jí)精度與高效率為核心優(yōu)勢(shì)，重新定義了臺(tái)階形貌檢測(cè)的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。

?核心性能參數(shù)方面?，NT1520采用行業(yè)的直動(dòng)式檢測(cè)結(jié)構(gòu)，摒棄傳統(tǒng)杠桿式探針的支點(diǎn)設(shè)計(jì)，使探針沿垂直方向線性位移，直接跟蹤臺(tái)階高度差。這一創(chuàng)新使設(shè)備實(shí)現(xiàn)0.1nm級(jí)別的高度分辨率，精度較傳統(tǒng)設(shè)備提升約100倍，同時(shí)將檢測(cè)時(shí)間縮短至原有的一半。其支持4英寸、6英寸、8英寸晶圓測(cè)量，Z軸最大測(cè)量范圍達(dá)1300μm，可覆蓋薄膜沉積、刻蝕圖形、配線層高度差等關(guān)鍵工藝的表面形貌檢測(cè)需求。

?功能特點(diǎn)上?，NT1520具備三大技術(shù)突破：

1. ?誤差抑制技術(shù)?：直動(dòng)式結(jié)構(gòu)消除探針弧形運(yùn)動(dòng)導(dǎo)致的角度誤差，確保計(jì)測(cè)結(jié)果不受探頭運(yùn)動(dòng)影響；

2. ?雙軸掃描系統(tǒng)?：支持X/Y軸同步掃描，減少晶圓重新定位步驟，提升檢測(cè)效率；

3. ?智能軟件平臺(tái)?：配備中文化分析軟件，集成粗糙度解析、段差分析、內(nèi)應(yīng)力計(jì)算等功能，并支持低通濾波過(guò)濾噪音，數(shù)據(jù)垂直方向顯示倍率最高可達(dá)200萬(wàn)倍。

?應(yīng)用場(chǎng)景?聚焦于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域：

• ?前工序形貌控制?：檢測(cè)晶圓表面薄膜厚度均勻性、刻蝕圖形深度精度；

• ?*封裝缺陷追蹤?：分析3D封裝中微凸點(diǎn)高度差、TSV通孔形貌；

• ?研發(fā)階段材料分析?：評(píng)估新型材料（如高介電常數(shù)介質(zhì)層）的表面粗糙度對(duì)器件性能的影響。

NT1520的推出，標(biāo)志著高精度臺(tái)階計(jì)測(cè)設(shè)備從“高速量測(cè)"向“高精度×高效率×基準(zhǔn)化"階段躍遷，為半導(dǎo)體制造工藝的精細(xì)化控制提供了關(guān)鍵工具。